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    紫外光刻機(jī)的產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)介紹

    更新時(shí)間:2022-06-10      點(diǎn)擊次數(shù):2641
    紫外光刻機(jī)是制造集成電路中重要的設(shè)備,特別是現(xiàn)在市面上大部分的芯片都是屬于電子芯片,當(dāng)電子芯片的工藝小于一定的尺寸的時(shí)候,就必須依靠光刻機(jī)在制作芯片,也就是說如果沒有光刻機(jī)就沒有辦法制造出頂級(jí)的芯片,比如市面上7nm芯片、5nm芯片等都不可能造出。而芯片在生活中是重要的,比如電腦、手機(jī)等電子產(chǎn)品都少不了。
    該光刻機(jī)可廣泛用于MEMS和光電子,例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過**設(shè)計(jì),方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片、例如混合、高頻元件和易碎的III-V族材料,包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過選配升級(jí)套件,實(shí)現(xiàn)紫外納米壓印光刻。它具有以下亮點(diǎn):高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻,特征尺寸優(yōu)于0.5微米、裝配SUSS的單視場(chǎng)顯微鏡或分視場(chǎng)顯微鏡,實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)、針對(duì)厚膠工藝進(jìn)行優(yōu)化的高分辨光學(xué)系統(tǒng)、可選配通用光學(xué)器件,在不同波長(zhǎng)間進(jìn)行快速切換等。
    隨著電子業(yè)的飛速發(fā)展,對(duì)作為電子元器件基礎(chǔ)的印制板的需求量及其加工精度的要求越來越高。紫外線光刻機(jī)是印制板制造工藝中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)光刻機(jī)的玻璃-邁拉曬架在生產(chǎn)過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經(jīng)常更換。由于冷卻系統(tǒng)過于臃腫,使得其生產(chǎn)成本高、效率低,已不能滿足PC B 生產(chǎn)的需要。在實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了雙玻璃曬架光刻機(jī),改進(jìn)了其主要組成部分,包括曬架系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及電氣和控制系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)。
    在計(jì)算機(jī)的控制下,利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光,受電子束輻照后的光刻膠,其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域,從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
    紫外光刻機(jī)的原理是在已經(jīng)切割好的晶圓(通常是多晶硅)上覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠,再用光線(一般是紫外光、深紫外光、極紫外光)透過掩模照射在晶圓表面,被紫外線照射到的光刻膠會(huì)發(fā)生反應(yīng)。此后用特定溶劑洗去被照射/未被照射的光刻膠,就實(shí)現(xiàn)了電路圖從掩模到晶片的轉(zhuǎn)移。簡(jiǎn)單來說,就用紫外線把多層電路圖雕刻在晶圓上,而在這過程中就必然要用到光刻機(jī)。
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